Raider-S - это крупносерийное однопластинчатое устройство для работы с применением технологии переходных отверстий в кремнии (TSV) и корпусирования на уровне пластины. Оно оснащено полностью автоматизированной высокоточной системой обработки пластин с автоматизированной системой химической обработки.

Характеристики

• Чистые камеры благодаря улучшенному процессу осаждения металла
• От 15 до 27 рабочих камер и более
• Наличие включенных химических анализов
• Технология мембранного покрытия
• Многозонный анод для тонкого осаждения материала
• Занимает мало места
• Пластины размерами 200 мм или 300 мм

Применение

• Электролитическое осаждение металлов (Cu-TSV, Pillar и SnAg бампинг)