Характеристики и описание
- Производитель
- Страна производительШвейцария
Описание:
Датчик на 6 кристаллах компании INFICON специально сконструирован для длительных технологических процессов, требующих непрерывного контроля скорости напыления. В OLED- и MBE-приложениях, при производстве солнечных панелей или в других техпроцессах с длительным интервалом между вентиляциями камеры, датчик CrystalSix обеспечивает высокую надёжность за счёт 6 кварцевых кристаллов, установленных в одной головке измерительного датчика. При использовании с контроллером процесса напыления тонких плёнок компании INFICON датчик на 6 кристаллах автоматически поворачивает новый кристалл в рабочую позицию в случае повреждения или нестабильной работы кристалла.Кристаллы автоматически переключаются, не прерывая процесс непрерывного контроля скорости напыления.
Механизм с пневматическим приводом осуществляет периодическую круговую подачу кристаллов. Этот пневмодвигатель обеспечивает более высокую тепловую стабильность по сравнению с модулями конкурентов, в которых используются дорогие электродвигатели для работы в условиях вакуума, выделяющие тепло. Трубки для воды диаметром 1/8 дюйма поддерживают стабильную температуру головки датчика и не ограничивают возможность выбора местоположения датчика.
При использовании с некоторыми контроллерами процесса напыления тонких плёнок компании INFICON, этот датчик поддерживает обратную связь по положению, что позволяет задавать конкретные положения для отдельных материалов.
Преимущества датчикa на 6 кристаллах:
- Вмещает 6 кристаллов с надёжным автоматическим механизмом переключения для сведения к минимуму времени простоя
- Стабильная температура кристалла, благодаря использованию пневматического механизма переключения кристаллов (модули конкурентов используют электродвигатели, выделяющие тепло)
- 1/8-дюймовые трубки для воды поддерживают стабильную температуру и не ограничивают возможность выбора местоположения датчика
- Дополнительно можно заказать затвор кристалла
Информация для заказа
Датчик на 6 кристаллах:
|
Датчик на 6 кристаллах
|
750-446-G1
|
|
Датчик на 6 кристаллах с затвором
|
SPS-1039-G1
|
Автоматический переключатель кристаллов только в комплекте с IC6, IC/5, Cygnus, XTC/3M, XTC/3S, SQC-310 и SQC-310C
Примечание 2:
SQC-310 и SQC-310C не поддерживают обратную связь по положению.
Примечание 3:
Для датчика на 6 кристаллах требуется пневматический клапан управления 750-420-G1
Технические характеристики:
Технические характеристики датчика на 6 кристаллах 750-446-G1
|
Макс. температура прогрева без водяного охлаждения
|
130°C
|
|
Макс. температура рабочей изотермической среды при минимальном расходе охлаждающей воды
|
400°C
|
|
Коаксиальные трубки и трубки для воды и воздуха
|
76 см в стандартном исполнении
|
|
Замена кристалла
|
Фронтальная установка, требуется инструмент для извлечения (входит в комплект)
|
|
Установка
|
Шесть #4-40 резьбовых отверстий на задней стороне корпуса датчика
|
|
Размер (макс. огибающая)
|
Диам. 9,7 см x 5,1 см высота
|
Требования установки:
|
Вакуумный ввод
|
Кол-во (1) 2 ¾-дюймовый фланец ConFlat® с двумя коаксиальными вакуумными вводами, 2 проходных фитинга для присоединения трубок подачи воды и один для трубки для воздуха, IPN 002-080,
|
|
Прочее
|
Пользователь обеспечивает вакуумплотные паяные соединения или фитинги для трубок для воды или воздуха.
|
|
|
Клапанный блок для воздуха (не входит в комплект), IPN 750-420-G1, с ограничительной диафрагмой 0,022 дюйма, устанавливаемой пользователем. (Диафрагма входит к комплект принадлежностей датчика на 6 кристаллах)
|
Коммуникации:
|
Мин. расход воды
|
150-200 куб.см./мин. при температуре не более 30 °C (не допускать замерзания)
|
|
Регулируемая подача воздуха
|
80-90 psig (5,5-6,2 бар) [550-620 кПа]
|
Материалы:
|
Пластина, держатели, антинапылительный экран, механические части
|
Нержавеющая сталь типа 304
|
|
Пружины, электрические контакты
|
Позолоченный сплав бериллия и меди, позолоченный инконель, нержавеющая сталь 303
|
|
Трубки для воды или воздуха
|
Бесшовная трубка из нержавеющей стали 304 с наружным диаметром 3,2 мм и толщиной стенки 0,4 мм длиной 76 см
|
|
Соединитель (Microdot®)
|
Нержавеющая сталь
|
|
Изоляторы
|
> 99 % Al2O3
|
|
Кабель
|
Медь, покрытая тефлоном
|
|
Кристалл
|
Диаметр 0,55 дюйма
|
|
Корпус и карусель
|
Aлюминий 2024 T351
|
Список запасных частей:
Датчики на 6 кристаллах
|
Номер для заказа
|
Описание
|
|
007-007
|
Пружинный замок (деталь держателя кристалла)
|
|
007-023
|
Керамический держатель
|
|
007-044
|
Кабель для вакуума, 78 см
|
|
070-0170
|
#2 пружинная шайба (деталь теплового экрана)
|
|
070-0398
|
Упорное кольцо (фиксирует подшипник, расположенный следом за штоком привода и защёлкой)
|
|
070-0777
|
Пружина сжатия (на валу карусели)
|
|
070-0778
|
Шарикоподшипник (под каруселью)
|
|
070-0779
|
Подшипник (осуществляет связь со штоком привода и защёлкой)
|
|
070-0870
|
Тефлоновая пружина (на валу карусели)
|
|
070-0877
|
Регулировочная прокладка (деталь теплового экрана)
|
|
070-0879
|
Подшипник (в центре сварного узла верхней пластины)
|
|
073-114
|
Провод 0,022 х 1,06 дюйма (фиксирует стопорный штифт теплового экрана)
|
|
082-026
|
#2-56 гайка (деталь теплового экрана)
|
|
750-048-P1
|
Пружинный замок (прижимает держатели кристаллов к карусели)
|
|
750-175-P1
|
Нижний изолятор (под плоскими пружинами)
|
|
750-188-P2
|
Плоская пружина
|
|
750-249-P2
|
Стопорный штифт (деталь теплового экрана)
|
|
750-250-G1
|
Тепловой экран
|
|
750-256-P2
|
Пружина растяжения (деталь сварного узла верхней пластины)
|
|
750-257-P3
|
Гофрированная пружина 11,2 см
|
|
750-261-G1
|
Карусель (вместе с резисторной сборкой и электрическими контактами)
|
|
750-262-G1
|
Держатель кристалла
|
|
750-265-G1
|
Сварной узел верхней пластины
|
|
750-276-P2
|
Крышка исполнительного механизма
|
|
750-278-P2
|
Трубка для воды
|
|
750-286-P2
|
Сильфонный узел
|
|
750-290-P3
|
Электрические контакты карусели (набор 8 шт.)
|
|
750-291-P1
|
Фиксатор
|
|
750-293-P2
|
Храповый механизм
|
|
750-294-P2
|
Собачка
|
|
750-295-G1
|
Шток привода и защёлка
|
|
750-336-G1
|
Резисторная сборка
|
|
750-338-P1
|
Изолятор контакта (под электрическими контактами карусели)
|
Габаритные размеры:
Датчик на 6 кристаллах 750-446-G1
Датчик CrystalSix 750-446-G1 можно использовать со следующими вакуумными вводами:
Датчик CrystalSix с затвором SPS-1039-G1 можно использовать с вакуумным вводом 750-683-G1
Доставка
Оплата и гарантии