QML-EX - встраиваемая в линию установка плазменной обработки с увеличенным объёмом рабочей камеры.

Отличительные особенности модели:

- Генератор ВЧ плазмы 13.56 МГц с автоматической регулировкой;
- Подача рабочего газа управляется с помощью контроллера массового расхода (MFC);
- Встроенный вакуумный насос;
- Высокоточный датчик давления;
- Алюминиевая камера с никелевым покрытием, без сварных швов;
- Управление с помощью ПЛК и сенсорного дисплея;
- Объём камеры: 4 л;
- 2 газовые линии; 
- Конвейер, работающий по протоколу SMEMA 1.2.