Превосходное качество плазменной обработки и высочайший уровень автоматизации в компактном корпусе
Система плазменной обработки AP-300 компании March Plasma Systems предназначена для¬ плазменной обработки материалов и изделий в серийном производстве при сохранении высокого качества техпроцесса, повторяемости, безопасности, простоты эксплуатации и низкой стоимости.
AP-300 полностью автономна и требует минимального свободного пространства. Система состоит из рабочей камеры, электронной схемы управления, РЧ генератора, автоматической схемы согласования и внешнего вакуумного насоса.
Рабочая камера изготовлена из химически неактивной нержавеющей стали с алюминиевыми оправками, что облегчает ее эксплуатационные характеристики и процесс очистки. Большое количество съемных держателей могут легко настраиваются таким образом, чтобы обеспечить оптимальное расположение изделий в камере.
Плазменная очистка, активация поверхности и адгезия
AP-300 используется для широкого ряда применений (очистка, активация, адгезия) в области микроэлектроники, производстве полупроводников, корпусировании и сборки, а также производителями медицинского оборудования.
Система работает с большим разнообразием технологических газов, включая аргон, кислород, водород, гелий. В комплект системы включены два (2) электронных контроллера расхода газа, еще 2 доступны как дополнительная опция.
Примеры использования в производстве изделий в микроэлектронике: |
Примеры применений в медицинском оборудовании: |
|
|
Технические характеристики системы плазменной обработки AP-300
Корпус |
Рама алюминиевая, стенки из термопластика. Полностью закрывает рабочую камеру, электронику и генератор (насос внешний) |
Габариты |
Ш 569 х В 704 х Г 869 (мм) |
Камера |
Материал: алюминий с алюминиевой оснасткой Внутренние размеры камеры: Ш 267х В 267х Г 465 (мм) Максимальное число регулируемых полок: 7 Рабочая зона электрода с фазовым потенциалом: Ш 190 х Г 330 мм Рабочая зона электрода с нулевым потенциалом: Ш 229 х Г 330 мм |
ВЧ-генератор |
300Вт, 13.56МГц, твердотельный, автоматическая настройка |
Управление потоком газа |
Два (2) контроллера потока Возможность установки до четырех контроллеров (опционально) |
Управление |
Программируемый логический контроллер и графический интерфейс управления на основе сенсорного экрана |
Система откачки |
Насос 552 л/мин с масляной ловушкой. Заправлен маслом для использования с кислородом. |
Требования к подключениям |
Линия электропитания: Однофазная сеть, 110-240В перем. тока, 10А Подача пневмопитания: 0.25" разъем для подачи азота или чистого сухого воздуха под давлением 0,7-7 Бар Подача рабочих газов: 0.25" разъем, 0,7..1,0 Бар Азот/ чистый сухой воздух: 0.25" разъем под давлением 3,5..5,5 Бар |
Опции |
|